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ISO14644.1~7潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)(中文版)

下載次數(shù):0 瀏覽次數(shù):4254發(fā)布時(shí)間:2017-02-04 18:48
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文檔詳情

1 范圍

ISO 14644 的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔

凈度的等級(jí)。只有在 0.1μm-0.5μm 的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體

才可供分級(jí)用。

ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm-0.5μm 規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級(jí)。超微

粒子(<0.1μm )和大粒子(>0.5μm)可分別以 U 描述符和 M 描述符來量化粒子群體。

ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。

注 粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測(cè)的,并且是隨著時(shí)間而變化的。

2 定義

下述定義適用于 ISO 14644 的本部分

2. 1 通則

2. 1. 1

潔凈室

空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和

滯留粒子,室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。

2. 1. 2

潔凈區(qū)

懸浮粒子濃度受控的限定空間。空間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和

滯留粒子,空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。

注:該區(qū)可以是開放式或是密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。

2. 1. 3

設(shè)施

潔凈室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū),連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動(dòng)力和公用設(shè)施。

2. 1. 4

分級(jí)

適用于一個(gè)的懸浮粒子潔凈度等級(jí)(或規(guī)定或確定該等級(jí)的過程),以 ISO 等級(jí) N 來表

示,它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度(以 pc/m3 空氣計(jì))。

注 1 此濃度用 3.2 中的公式(1)確定。

注 2 按照本國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級(jí),限定在 ISO 1 級(jí)至 ISO 9 級(jí)。

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